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天津华海清科机电科技有限公司

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公司简介
天津华海清科机电科技有限公司(简称“华海清科”)是天津市政府与清华大学为促进推动我国化学机械抛光(简称CMP)技术和设备产业化而合资成立的有限责任公司。公司座落于天津市津南区海河科技园内,公司从筹备到成立,得到了天津市各级政府和清华大学的全力支持。清华大学研发团队通过国家科技重大专项“极大规模集成电路装备与成套工艺”(简称02专项)项目“超低下压力CMP系统研制及工艺开发”的实施,已掌握了超低下压力CMP设备及工艺的关键技术,并成功研制出国内首台用于铜制程抛光的300mm晶圆“干进干出”CMP设备,初步具
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